真空熱處理的功效便是提升原材料的物理性能、清除內(nèi)應(yīng)力和改進(jìn)金屬材料的鉆削工藝性能。依照真空熱處理不一樣的目地，真空熱處理加工工藝可分成兩類：準(zhǔn)備真空熱處理和最后真空熱處理。
1.準(zhǔn)備真空熱處理
準(zhǔn)備真空熱處理的目地是改進(jìn)生產(chǎn)加工特性、清除熱應(yīng)力和為最后真空熱處理提前準(zhǔn)備優(yōu)良的合金成分。其真空熱處理加工工藝有淬火、淬火、時(shí)效性、熱處理等。
（1）淬火和淬火
淬火和淬火用以歷經(jīng)熱處理的毛胚。碳含量超過0.5%的碳素鋼和碳素鋼，為減少其強(qiáng)度便于鉆削，常選用退火處理；碳含量小于0.5%的碳素鋼和碳素鋼，為防止其強(qiáng)度過低鉆削時(shí)粘刀，而選用淬火工藝。淬火和淬火行遠(yuǎn)必自優(yōu)化晶體、勻稱機(jī)構(gòu)，為之后的真空熱處理作提前準(zhǔn)備。淬火和淬火常分配在毛胚生產(chǎn)制造以后、初加工以前開展。

（2）時(shí)效處理
時(shí)效處理關(guān)鍵用以清除毛胚生產(chǎn)制造和機(jī)械加工制造中造成的熱應(yīng)力。
為防止太多運(yùn)送勞動(dòng)量，針對(duì)一般精密度的零件，在精加工前分配一次時(shí)效處理就可以。但精密度規(guī)定較高的零件（如坐標(biāo)銑床的殼體等），應(yīng)分配2次或多次時(shí)效處理工藝流程。簡易零件一般并不開展時(shí)效處理。
除鑄造件外，針對(duì)一些剛度較弱的精細(xì)零件（如精細(xì)滾珠絲杠），為清除生產(chǎn)加工中造成的熱應(yīng)力，平穩(wěn)零件加工精密度，經(jīng)常在初加工、半精加工中間分配數(shù)次時(shí)效處理。一些軸類零件生產(chǎn)加工，在學(xué)校直工藝流程后還要分配時(shí)效處理。
（3）熱處理
熱處理就是在淬火后開展高溫淬火解決，它能得到勻稱細(xì)膩的淬火屈氏體機(jī)構(gòu)，為之后的表層淬火和滲氮解決時(shí)降低形變作提前準(zhǔn)備，因而熱處理也可做為準(zhǔn)備真空熱處理。
因?yàn)闊崽幚砗罅慵木C合性物理性能不錯(cuò)，對(duì)一些強(qiáng)度和耐磨性能規(guī)定不太高的零件，也可做為最后真空熱處理工藝流程。
2.最后真空熱處理
最后真空熱處理的目地是提高硬度、耐磨性能和抗壓強(qiáng)度等物理性能。
（1）淬火
淬火有表層淬火和總體淬火。在其中表層淬火由于形變、空氣氧化及滲碳較小而運(yùn)用較廣，并且表層淬火還具備外界抗壓強(qiáng)度高、耐磨性能好，而內(nèi)部保持穩(wěn)定的延展性、抗撞擊力強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)。為提升表層淬火零件的物理性能，常需開展熱處理或淬火等真空熱處理做為準(zhǔn)備真空熱處理。其一般加工工藝路經(jīng)為：開料--煅造--淬火（淬火）--初加工--熱處理--半精加工--表層淬火--精加工。
（2）滲碳淬火
滲碳淬火適用高碳鋼和高合金鋼，先提升零件表面的碳含量，經(jīng)淬火后使表面得到高的強(qiáng)度，而芯部仍維持一定的抗壓強(qiáng)度和較高的延展性和塑性變形。滲碳分總體滲碳和部分滲碳。部分滲碳時(shí)對(duì)不滲碳一部分要采用防水層對(duì)策（電鍍銅或鍍防水層原材料）。因?yàn)闈B碳淬火形變大，且滲碳深層一般在0.5~2毫米中間，因此滲碳工藝流程一般分配在半精加工和精加工中間。
其加工工藝路經(jīng)一般為：開料-煅造-淬火-粗、半精加工-滲碳淬火-精加工。
當(dāng)部分滲碳零件的不滲碳一部分選用增加容量后，摘除不必要的滲碳層的加工工藝計(jì)劃方案時(shí)，摘除不必要滲碳層的工藝流程應(yīng)分配在滲碳后，淬火前開展。
（3）滲氮解決
滲氮是使氮原子滲透到金屬表層 得到一層含氮化合物的解決方式。滲氮層能夠 提升零件表層的強(qiáng)度、耐磨性能、疲勞極限和抗蝕性。因?yàn)闈B氮解決溫度較低、形變小、且滲氮層較薄（一般不超過0.6~0.7mm），滲氮工藝流程應(yīng)盡可能靠后分配，為減少滲氮時(shí)的形變，在鉆削后一般需開展清除地應(yīng)力的高溫淬火。